フォトテクニカ株式会社

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フォトポリマーコンファレンス’18(幕張メッセ国際会議場) 

会期:2018年6月25(月)~28(木)            4-romulus03            AvaThinfilm_2015-              8-co2clean01

 

場所:幕張メッセ国際会議場

 

出展品: 薄膜密着強度測定機(ROMULUS), 光学干渉式膜厚モニター(AvaThinfilm),       

           CO2ジェット表面洗浄器 (CO2 Snow Jet Cleaner)                  

 

出展物の特長

◆ROMURUS(ロミュラス) Quad Group 社製                                                                                                                    

独自のスタッドピンと接着剤による引っ張り試験により、基板上のめっき膜・レジスト膜などの密着力を容易に自動で

定量測定可能な薄膜密着強度測定機

 

独自のエポキシ接着剤付スタッドピンを試料表面に接着させ、PC制御で荷重(最大100kg、精度±1%)をかけて引っ張り、

剥離が生じた時点の密着性を表示し定量的に測定可能で、測定設定やデータ保存も簡単にできる。カラーフィルター、

レジスト膜、めっき膜、DLC膜等の薄膜密着強度測定に最適。

またモジュール交換で6種類のテスターとして使用可能。複合基盤の張り合わせ強度、コーティング引き倒し強度、

固定されたダイ等のせん断強度、フレキシブル基板の剥離強度、3点曲げ方法による歪み・応力特性等の測定に

使用可能。                                                                                                     

 

 

◆AvaThinfilm(膜厚モニター)Avantes 社製

ファイバー入射型分光器利用で非接触リアルタイム膜厚計測ができる、光学干渉式膜厚モニター

 

独自の分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ、専用ソフトのシステム。非接触でリアルタイムに膜の厚さを計測可能。

白色光の干渉パターンから光学膜厚を割出し、薄膜材料の光学物性値から算出してサンプルの膜厚(10nm~50μm)を計測す

ることができる。(測定分解能:1nm)。多層膜用オプション有。

 

 

◆CO2 ジェット表面洗浄器      Applied Surface Technologies社製

CO2 ジェット表面洗浄器はCOガスの噴射により試料表面の汚れをミクロンレベルまで除去可能なCO2クリーナー

 

CO2洗浄器はガスの噴射により物質表面のゴミ粒子、指紋等の油分を対象物を破壊せずに除去でき、残留物も科学的汚染も生じない。

1.XPS、AES、AFM分析試料表面洗浄による事前準備 2.金属、ガラス、セラミックス、ポリマー、Siウェハーなどの汚れの除去

3.レンズ、フィルター、ミラー、グレーティングなどの光学部品の汚れの除去 4.各種エレクトロニクス製品・部品の洗浄

5.電気部品、自動車部品、通信機器部品、医療用部品等の洗浄

 

 

 

  フォトポリマーコンファレンスは こちら

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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