| 光学レーザ＞レーザパワーメータ・エネルギーメータ・/モニター/ビーム診断 |
レーザパワーメータ・エネルギーメータ |
レーザパワー・エネルギーメータ |
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| モニター |
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ビーム診断 |
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| レーザパワーディテクタ |
| サーモパイルまたはパイロエレクトリックパワーディテクタで、これらを使用して短い レスポンスタイムで正確な測定が可能です。 |
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パワーディテクタ比較表 |
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| コンパクトディテクタ | 低出力型 | 広帯域標準型 |
| ●9mmφ, nW ～ mW ●APM/DPMと使用 |
●高感度：200mV/W ●最小サーマルドリフト： 6μW/℃ |
●12/19/25/55mmφ ●５冷却モジュールから選択 ●超薄型：UP17P |
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高ダメージスレショルド型 (UP-W) |
高出力型 |
ハンドヘルド型 |
| ●高ダメージスレショールド： 100kW/cm2 ●17/50mmφ |
●高平均出力：最大12kW ●DB-15 ケーブルからモニター出力或いはUSB から直接PC へ出力 |
FLASH ●500W ～最大10kW ●55mmφ ●簡単に待たずに計測 |
| 高ピークパワーボリューム ダンパ(UP-VR) |
FLASH-IPL ●FLUENCEの直接測定 ●350J/パルスの高精度測定値 ●アパーチャ (10x10mm/5x20mm) (オプションでφ55mmも可能) |
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| ●高平均出力・高ピーク出力 ●18mmφ |
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温度コントロール付 |
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| ●温度コントロールパワー測定 ●0.05℃下げることで電圧出力 が安定 |
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| レーザエネルギーディテクタ |
| パイロエレエクトリックエネルギーメータでナノジュールから１パルスあたり数ジュールまで非常に広い範囲をカバーしています。 | ||
エネルギーディテクタ比較表 |
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| 最速で計測・データ保存型 |
| ●最大130kHzのパルス間測定が可能： 12ビットの精度で高繰り返し率レーザのパルスエネルギーをリアルタイムに測定可能 ●最大400万パルスを捉え100kHzで40秒のデータを保存できる ●紛失パルスやエネルギー闘値以下のパルスの数を把握できる ●6種類のヘッドから選択可能 ●高データ転送速度並びに高速計測（USB2.0) ●多くの診断機能を持つ使い易いソフトウェア ●アナログモジュール(APM)やオシロスコープでも測定可能 ●0.35 ～ 2.5μm ●pJ ～ mJ |
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| コンパクト型 | 広帯域標準型 | 高繰返し型 |
| ●8/23mmφ, ●広帯域（真空紫外～遠赤外） ●APM/DPM と使用 |
●12ｘ12/25x25/50x50/ 65x65mm,95mmφ ●低ノイズ（MB コーティング） |
●メタリックダンパ（高繰返し 6000Hz） ●12x12/25x25/50x50mm口径 |
| THz ディテクタ |
| パイロエレクトリイックユニットをもとにしたセンサーによる小型のTHz ディテクタは非常に簡単に室温で測定できます。 | |
| ●較正デバイス; 0.25 ～ 15μm(20THZ) 領域で較正 ●広いレンジ( 0.1 ～ 30THz ) ●nW ～ mW |
THz放射エネルギーについて |
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| ●BNCからオシロスコープへ 直接接続 |
●デジタルパワーモジュール (T-RAD-USB) でPC に接続 ●アナログパワーモジュール (APM) でオシロスコープへ接続 |
●超小型パッケージ ●2ｘ2ｍｍ/5/9mmφ |
| オプティカルディテクタ |
| レーザパワー/エネルギーのどちらも測定でき、それぞれの-Bシリーズはデジタルモジュール
(DPM)と使用して高感度オプティカルディテクタとして安定した計測が可能です。 その他モニター不要で直接PCやオシロスコープに接続可能なデジタルUSBモジュールやアナロ グBNCモジュール、高出力用(PH)、TRAPディテクター等もあります。 |
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| 出力計測用 | ||
| PH-B | デジタルモジュール（DPM)
と使用する ことにより、USB からＰＣに接続可能 |
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| ●高感度で出力測定 (10 pW まで測定可能） ●低ノイズ ●ヘッドは3 種類のモデルから選択 |
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3種類のセンサーヘッド
■ PH10B-Si ： シリコンセンサー (φ10ｍｍ、 190nm ～ 1100nm ) ■ PH5B-Ge ： ゲルマニウムセンサー(φ5ｍｍ、 1000nm ～ 1700nm ) ■ PH3B-In ： InGaAs センサ－ （φ3ｍｍ、 900nm ～ 1600nm ) |
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高出力用 |
| エネルギー計測用 | ||
| PE-B | デジタルモジュール（DPM) と使用することによりＰＣに接続でき、或いは アナログモジュール(APM) を使用することによりヘッドをオシレータに接続可能 | |
| ●低ノイズでエネルギー測定 (PE-3B-In with DPM ) ●ヘッドは3 種類のモデルから選択 |
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Si |
Ge |
In |
| 3 種類のセンサーヘッド
■ PE-B-Si ： シリコンセンサー (φ3.5/10ｍｍ、 190nm ～ 1100nm ) ■ PE5B-Ge ： ゲルマニウムセンサー(φ5ｍｍ、 1000nm ～ 1700nm ) ■ PE3B-In ： InGaAs センサ－ （φ3ｍｍ、 900nm ～ 1600nm ) |
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トラップBNC用 |
| レーザパワー・エネルギーモニター |
| サイズと種類が豊富で、すべてのアプリケーションをカバーしています。ご用途により全機種対応、PC 専用、 ２チャンネル等のモデルから選べます。小型・軽量・低価格で自動較正機能付きの簡単操作が魅力です。 |
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| MAESTRO
全機種対応最新モデル
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| タッチパネル型カラーLCD、パワーエネルギーモニター |
| ●最新の大型タッチパネルカラーLCD ディスプレイを採用した全機種対応のモデルです。 モニター： 5.6 インチスクリーン、解像度：640 x480、18 ビットカラー、フルタッチスクリーンコントロール ●ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、簡単かつ迅速に各種計測をリアルタイムで多彩に表示し、統計処理まで可能です。 ●USB・RS232 からPC 入力が可能な上、USB キーに直接データ保存もできます。 |
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| チュ－ニング針付 デジタルモニター |
簡易型レーザ パワーモニター |
PC専用モニター |
| ●１秒以下の最速針 ●針の３種類表示機能 |
●24 ビットA/D コンバータ による正確な計測 ●超低消費電力、低価格 |
●小型でUSB又はRS232 ケーブルでPC接続 ●リアルタイム計測/ 統計 処理機能 ●シリアルコードコマンド |
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| 2 チャンネル PC 専用モニター |
1ch アナログ/ デジタル パワーモジュール |
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| ●最速(10kHz) でデータ転送 ●シリアルコードコマンド ●USB 接続又はイーサネット (9V AC 電源） |
●APM はPE-B/QE-B ディテクターと使用して最高の 繰返し率を取得可能 ●DPM は各種ソフトが充実 |
| モニター比較表（ディテクターとの互換性） |
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| モデル |
出力 |
エネルギー |
その他 |
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サーモパイル |
オプティカル |
パイロエレクトリック |
サーモパイル |
表示 |
PC インターフェース |
外部アウトプット |
チャンネル | |
| MAESTRO | ○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
USB/RS232/Analog/Ethernet | 1 |
| TUNER | ○ |
○ |
○ |
Analog | 1 |
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| UNO | ○ |
○ |
○ |
1 |
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| P-LINK | ○ |
○ |
○ |
○ |
USB/RS232(option) | 1 |
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| S-LINK-2 | ○ |
○ |
○ |
○ |
USB/Ethernet(option) | 2 |
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★ディテクター、モニターのデモ機を用意しております。お気軽にお問合せ下さい。
| ビーム診断 |
各モデル比較表
| モデル
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プロフィール | アライ メント |
M2 |
スキャン | ナイフ エッジ |
CCD |
CW レーザ |
パルスレーザ | 解像度 |
最大画像サイズ |
| BEAMAGE | X-Y | オプション | ● |
● |
<20kHz | １μm | 8.8x6.6mm | |||
| BEAMAGE FOCUS | X-Y | ● |
● |
<20kHz | 1.6μm | 20x15mm | ||||
| BEAM'R2 | X-Y | ● |
● |
>100kHz | 0.5μm | 6x5mm | ||||
| BEAMMAP2 | X-Y-Z-β-φ | ● |
リアルタイム | ● |
● |
● |
>100kHz | 0.5μm | 6x5mm | |
| BEAMSCOPE-P8 | X-Y | オプション | ● |
● |
>10kHz | 0.1μm | 40x23mm |
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| CCD カメラタイプ | CCD 大型ビームタイプ |
| ●USB 直接接続PC 制御 ●CW・パルスレーザ対応 ●オートトリガ |
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| スキャニングスリットタイプ | |
| ●Beame’ R2 はXY 表示 ●BeaMap2 はリアルタイムXYZ 表示、M2 表示可能 |
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| スキャニングプローブタイプ | |
| ●広いレンジ190nm ～ 4μm ●高解像度：0.5mm(0.5%) ●リアルタイムXY プロファイル、 角度発散・楕円率・重心・ガウス フィット表示 |
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