GENIUSは、早い周波数繰返しが得られる擬似CW(QCW) 動作を採用した355nm / 266nm のピコ秒UV / DUVレーザ。
レーザの長寿命化のためのTHG結晶と加工飽和級ミラーの予防保全調整が行われる。
24/7稼働のためのコンパクトで堅牢な産業用シールドパッケージプラットフォームにより優れた長時間出力安定性とビーム特性を実現している。

特長　
●出力　           ：4W@355nm, 3W@266nm
●波長　　　　　：355nm, 266nm　
●パルス繰返し　：80MHz～120MHz (オーダー時に設定）　　
●パルス幅　　　：< 15ps

●高ビーム品質　：M² <1.3
●リモート制御のためのRS232インターフェース出力　　　　　

用途

■半導体ウェハー検査
■材料加工
■マイクロステレオリソグラフィー
■マイクロマシニング