Gentec-EO社のレーザパワー・エネルギー測定用製品は、あらゆる種類のレーザに対応し、0.3nW～100kW、μＪ～500ＪのＵＶ～IRまで広範囲をカバーしている較正済センサーです。レーザ他、キセノンフラッシュランプエネルギー測定も可能です。
レーザの高出力化・高エネルギー化が進んでいる今日、計測出来るディテクタのニーズが高まり、新しい製品が開発されています。半導体製造過程において高出力ウルトラファーストレーザは欠陥検知等に必須で、そのレーザを感知・計測出来るディテクタが求められています。
2020年に開発された積分球 IS(Integrate Sphere)を内蔵した統合型の「内蔵球面ディテクタ 」は、フォトディテクタの迅速な応答（立ち上がり時間）とサーマルディテクタの高平均出力対応を組み合わせた技術で、高速で高いレーザ出力を計測することが可能になりました。内蔵球面ディテクタ IS(Integrate Sphere)は高速応答シリコンセンサーを搭載しているため、フォトダイオードと同様な高速応答が可能です。積分球の球面には強力に設計された独自のサーマル耐性コーティングが施されており、温度補償された高精度計測がが可能で、市場の他の「ホワイト」コーティングに比べて桁違いに高い損傷閾値です。
この度応答速度が最速0.2秒で高出力(1kW)対応のディテクタが新登場しました。「吸収体タイプ」がシリコンで内蔵球面ディテクタ IS (Integrate Sphere)方式の最速ディテクタなので、半導体産業での使用が期待されます。
◆内蔵球面ディテクタ方式＿シリコン吸収体＿レーザーパワー測定装置 - 較正済センサー - Gentec-EO
IS50A-1kW-RSI-INT new!
口径 φ50mm, 1kWまで対応
水冷却, 内蔵球面ディテクタ型,
Integra対応
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次にAdditive manufacturing (3D設計や3Dプリンター) が重要な役割を担う様になっている中で、レーザの出力・ビームプロファイルの管理が必要で、NDフィルターやビームサンプラー(Optical Attenuators)等の使用が必須になっています。
Gentec-EO社製のビームプロファイラはCMOSセンサを使用する事で、高速(USB3.0)・広エリア(20.5x20.5mm)・高画像解像度(4.2Mピクセル）でビーム診断ができます。
★ビームサンプラー(Optical Attenuators）はモニター出力とビームプロファイルの同時使用が可能で、エネルギー・パワーディテクタと共に使用する為の光ピックオフにもなります。
この度、大口径 (有効径：φ32mm) ・高出力：1kW対応のビームサンプラーが新発売されました。
◆ビームサンプラー_ビームプロファイリング_ビーム診断アクセサリーーGentec-EO
ビームサンプラー
BA32-1kW new!
■1W ～1000W Beamage-4M等に取り付けて使用する ＋ Attenuator (BA32)
スペクトル領域：200nm-2100nm
有効径：φ32mm
レーザー出力の管理
CMOSセンサは、飽和レベルが低く、損傷閾値も同様に低くなっています。可能な限り最高の測定を行い、BEAMAGEカメラの損傷を防ぐためには、レーザー出力を制御することが非常に重要となります。
レーザービームの標本抽出
BAシリーズの光減衰器は、2つの直角ウェッジでフレネル反射を利用し、入射ビームのごく一部を分離します。入射ビームの偏光状態および放射照度は維持されます。
多用途
- ●出力およびビームプロファイルの同時モニタリング
- ●後方反射がなく偏光の影響を受けないビームスプリッタ
- ●エネルギーまたは出力ディテクタと共に使用するための光ピックオフ
- ●M6シリーズやPHシリーズなどの高感度ディテクタ用減衰器
Gentec-EO社製レーザパワー・エネルギーディテクターは、「最大出力」「開口サイズ」「冷却タイプ」「表示機器とPCインターフェース」「吸収体タイプ」 「測定方式」から検索することが出来ます。
高出力タイプは 「1kW～」「φ50ｍｍ以上」「対流又は水冷却」「TUNER, UNO, BLU, MAESTROのモニター」「GD/HD/HE」「サーマル・ポータブル・IMP(高出力用水熱量計)・IS（内臓球面）等」
是非ご覧ください。 こちらから