Gentec-EO社は2023/11/23、米国のLaser Institute of Americaから「Laser 材料加工における重要な発展に貢献した製品・企業」に送られる William M. Steen Awardを受賞しました。

レーザの高出力化・高エネルギー化が進んでいる今日、半導体製造過程において高出力ウルトラファーストレーザは欠陥検知等に必須で、そのレーザを感知・計測出来るディテクタが求められているのに対して、Gentec-EO社は2020年から積分球 IS(Integrate Sphere)を内蔵した統合型の「内蔵球面ディテクタ 」を開発しており、フォトディテクタの迅速な応答（立ち上がり時間）とサーマルディテクタの高平均出力対応を組み合わせた技術で、高速で高いレーザ出力を計測することが可能になりました。内蔵球面ディテクタ IS(Integrate Sphere)は高速応答シリコンセンサーを搭載しているため、フォトダイオードと同様な高速応答が可能です。積分球の球面には強力に設計された独自のサーマル耐性コーティングが施されており、温度補償された高精度計測がが可能で、市場の他の「ホワイト」コーティングに比べて桁違いに高い損傷閾値です。更にNIST規格の較正がされており、正確で信頼性が高い計測が可能です。

 

特に2022年に開発したIS50A-1kWは、「吸収体タイプ」に高出力対応のシリコンを採用し、最速0.2秒の応答速度で計測できる内蔵球面ディテクタ IS (Integrate Sphere)方式の最速ディテクタなので、半導体産業での使用が期待され、今回のWilliam M. Steen Award　受賞となりました。

レーザ溶接プロセス等ではレーザ出力は可能な限り一定である必要があり、IS50A-1KWで計測するとユーザーはレーザ強度の迅速なシフトをモニターで監視し対処できます。これは自動化された製造システムにおいて非常に重要であり、最終製品の構造上の故障を防ぎ、生産性を向上させます。またダイナミックレンジが大きいので、マイクロワット以下の低出力～1000W以上の高出力まで1つのディテクタで計測できます。

 

◆内蔵球面ディテクタ方式＿シリコン吸収体＿レーザーパワー測定装置 - 較正済センサー - Gentec-EO

 

              　　　

          IS50A-1kW-RSI-INT 　                                  　　　　　　

　　　口径　φ50mm, 1kWまで対応　          

　　   水冷却, 内蔵球面ディテクタ型,

　　　Integra対応 　　 

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Gentec-EO社製レーザパワー・エネルギーディテクターは、「最大出力」「開口サイズ」「冷却タイプ」「表示機器とPCインターフェース」「吸収体タイプ」 「測定方式」から検索することが出来ます。

高出力タイプは　「1kW～」「φ50ｍｍ以上」「対流又は水冷却」「TUNER, UNO, BLU, MAESTROのモニター」「GD/HD/HE」「サーマル・ポータブル・IMP(高出力用水熱量計)・IS（内臓球面）等」

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