会期: 2025/5/28(水)~5/30(金)
会場: タワーホール船堀 (東京・江戸川区)
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薄膜密着強度測定機:Romulus (ロミュラス)
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独自のエポキシ接着剤付スタッドピンを試料表面に接着させ、PC制御で荷重(最大100kg、精度±1%)をかけて引張り、剥離が生じた時点の密着性を表示し定量的に測定・データ保存が簡単に可能。基板上のレジスト膜、めっき膜、DLC膜、カラーフィルタ等に最適。6種類のモジュール交換で複合基盤の張合わせ強度、コーティング引き倒し強度、固定されたダイ等のせん断強度、フレキシブル基板の剥離強度、歪み・応力特性等の測定が可能。
出展物の特長
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◆ROMULUS(ロミュラス)Quad Group 社製
独自のスタッドピンと接着剤による引っ張り試験により、基板上のめっき膜・レジスト膜などの密着力を容易に自動で定量測定可能な薄膜密着強度測定機(USB接続型)
独自のエポキシ接着剤付スタッドピンを試料表面に接着させ、PC制御で荷重(最大100kg、精度±1%)をかけて引っ張り、剥離が生じた時点の密着性を表示し定量的に測定可能で、測定設定やデータ保存も簡単にできる。(予めソフトウェアをPCに入れ本体とUSB接続する)カラーフィルター、レジスト膜、めっき膜、DLC膜等の薄膜密着強度測定に最適。
またモジュール交換で6種類のテスターとして使用可能。複合基盤の張り合わせ強度、コーティング引き倒し強度、固定されたダイ等のせん断強度、フレキシブル基板の剥離強度、3点曲げ方法による歪み・応力特性等の測定に使用可能。
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◆AvaThinfilm(膜厚モニター)Avantes 社製
ファイバー入射型分光器利用で非接触リアルタイム膜厚計測ができる、光学干渉式膜厚モニター
独自の分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ、専用ソフトのシステム。非接触でリアルタイムに膜の厚さを計測可能。
白色光の干渉パターンから光学膜厚を割出し、薄膜材料の光学物性値から算出してサンプルの膜厚(10nm~50μm)を計測することができる。(測定分解能:1nm)。多層膜用オプション有。
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*詳細はこちら→https://www.csj.or.jp/conference/2025s/index.html