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分光器の応用計測システム 膜厚測定 AvaThinfilm

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AvaSoft-ThinFilm

AvaThinfilmは、光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で、非接触でリアルタイムの測定が可能。(ファイバー入射型分光器利用の膜厚測定)分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと、試料の物性値から膜の厚みを計測。非常に低価格なので気軽に使用できる。

本体はファイバー入射型分光器なので、他の光計測に利用できる。

 

特長

●非接触でリアルタイムに計測
●10nm~50μm の膜の厚みを計測
●測定分解能:1nm
●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等
●分光器としての用途に使用できる
●専用のソフト(AvaSoft-ThinFilm)、ThinFilm stage、反射プローブ付きで卓上で簡単に膜厚計側が可能

 

専用ソフトウェアに一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。

 

 

●最新のシステム構成:Thinfilm Bundle

分光器 AvaSpec-ULS2048CL-EVO

Grating UA (200-1100nm); 100μm slit; DCL-UV/VIS-200; OSC-UA

光源 AvaLight-DHc PS-12V/1.0A 付
光ファイバー FCR-7UVIR200-2-ME 反射プローブ
ソフトウェア  AvaSoft-Thinfilm  
ステージ  ThinFilm stage

 

 

How to perform a Thinfilm Measeurement No.1 by Avantes

 

How to perform a Thinfilm Measurement No.2 by Avantes

 

 

半導体関連の計測例

 

★評価機をご用意しておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

分光器:AvaSpec 詳細ページへ

 

光源:AvaLight-DHc 詳細ページへ

 

 

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