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分光器の応用計測システム 膜厚測定 AvaThinfilm

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7. AvaSoft-Thinfilm-

AvaSoft-ThinFilm

AvaThinfilmは、光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で、非接触でリアルタイムの測定が可能。(ファイバー入射型分光器利用の膜厚測定)分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと、試料の物性値から膜の厚みを計測。非常に低価格なので気軽に使用できる。

本体はファイバー入射型分光器なので、他の光計測に利用できる。

 

特長

●非接触でリアルタイムに計測
●10nm~50μm の膜の厚みを計測
●測定分解能:1nm
●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等
●分光器としての用途に使用できる
●専用のソフト(AvaSoft-ThinFilm)、ThinFilm stage、反射プローブ付き

*多層膜用ソフト ( TEProbeオプション )

専用ソフトウェアに一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。

●最新のシステム構成:

分光器:AvaSpec-ULS2048CL-EVO 又は AvaSpec-ULS2048( Grating UA (200~1100nm), 100μm slit, DCL-UV/VIS-200, OSC-UA )

専用ソフト:AvaSoft-Thinfilm

光源:AvaLight-DHc (PS-12V/1.0A付)

ファイバー:FCR-7UVIR200-2-ME 反射プローブ

ステージ:ThinFilm stage

 

★評価機をご用意しておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

分光器:AvaSpec 詳細ページへ

 

光源:AvaLight-DHc 詳細ページへ

 

 

 

 

 

 

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