分光器の応用計測システム　膜厚測定 AvaThinfilm

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AvaSoft-ThinFilm

AvaThinfilmは、光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で、非接触でリアルタイムの測定が可能。（ファイバー入射型分光器利用の膜厚測定）分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと、試料の物性値から膜の厚みを計測。非常に低価格なので気軽に使用できる。 本体はファイバー入射型分光器なので、他の光計測に利用できる。   特長 ●非接触でリアルタイムに計測 ●10nm～50μm の膜の厚みを計測 ●測定分解能：1nm ●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等 ●分光器としての用途に使用できる ●専用のソフト(AvaSoft-ThinFilm)、ThinFilm stage、反射プローブ付きで卓上で簡単に膜厚計側が可能   専用ソフトウェアに一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。     ●最新のシステム構成：Thinfilm Bundle 分光器 AvaSpec-ULS2048CL-EVO Grating UA (200-1100nm); 100μm slit; DCL-UV/VIS-200; OSC-UA 光源 AvaLight-DHc PS-12V/1.0A　付 光ファイバー FCR-7UVIR200-2-ME 反射プローブ ソフトウェア　 AvaSoft-Thinfilm   ステージ　 ThinFilm stage     How to perform a Thinfilm Measeurement No.1 by Avantes   How to perform a Thinfilm Measurement No.2 by Avantes     半導体関連の計測例   ★評価機をご用意しておりますので、お気軽にお問合せ下さい。 ＊分光器：AvaSpec　詳細ページへ   ＊光源：AvaLight-DHｃ　詳細ページへ

 

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