スパイラルスキャン光学モジュール　　　Spiral Drilling Optic

 

Spiral Drilling Optic

Spiral Drilling Optic モジュールは、ウルトラファーストレーザによる微細加⼯を⾏う際に⾼精度な微細孔加⼯⽤のテーパー⾓の制御が可能な光学モジュール。テーパー⾓の制御、⾼アスペクト⽐のレーザ微細加工や高精度の微細孔加⼯を実現出来る。フェムト秒レーザと組合せ、熱影響の極めて少ない高品位加工を実現。   特⻑ ●スパイラルスキャントラックとＺ軸ステージを使用 ●ストレート孔・順テーパー孔・逆テーパー孔の加工 ●三次元形状ポケット加工 ●レーザ出力制御 ●アシストガス圧制御    スキャナー光学機器ユニット  サイズ・重量  340ｘ181ｘ352(160)ｍｍ・25(15)kg   波⻑域  505～545nm,1020nm〜1080nm  ビーム偏差(3/5/10.5mm)  入力ビーム径  （f=60/80/100/150/200mm)  φ10mm  ⽳の直径  穴の縦横比  φ30～φ1000μm(φ50μm@f=100mm) 　12：1  最⼤回転周波数  ダメージスレショールド  3000 rpm (6000rpm)  >150mJ/cm2 @200fs, 1030nm   用途 ■流量制御板加工 ■高精度メッシュ加工 ■タービンブレードフィルム冷却孔加工 ■燃料ノズル穴加工

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