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スパイラルスキャン光学モジュール   Spiral Drilling Optic

 

   

 

 Spiral Drilling Optic

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Spiral Drilling Optic モジュールは、ウルトラファーストレーザによる微細加⼯を⾏う際に⾼精度な微細孔加⼯⽤のテーパー⾓の制御が可能な光学モジュール。テーパー⾓の制御、⾼アスペクト⽐のレーザ微細加工や高精度の微細孔加⼯を実現出来る。フェムト秒レーザと組合せ、熱影響の極めて少ない高品位加工を実現。

 

特⻑
●スパイラルスキャントラックとZ軸ステージを使用

●ストレート孔・順テーパー孔・逆テーパー孔の加工
●三次元形状ポケット加工
●レーザ出力制御
●アシストガス圧制御

 

 スキャナー光学機器ユニット

 サイズ・重量  340x181x352(160)mm・25(15)kg 
 波⻑域  505~545nm,1020nm〜1080nm
 ビーム偏差(3/5/10.5mm)
 入力ビーム径
 (f=60/80/100/150/200mm)
 φ10mm
 ⽳の直径
 穴の縦横比

 φ30~φ1000μm(φ50μm@f=100mm)

 12:1

 最⼤回転周波数
 ダメージスレショールド
 3000 rpm (6000rpm)
 >150mJ/cm2 @200fs, 1030nm

 

用途

■流量制御板加工

■高精度メッシュ加工

■タービンブレードフィルム冷却孔加工

■燃料ノズル穴加工

 

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その他取扱製品

オプトメカニカル製品・電気パーツ

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