レーザビームデリバリーデバイス（Beam expander, reducer, controller）

Beam Delivery System                         (MEX)

◆レーザビームデリバリーシステム(BDS)はこれ1 台でレーザビーム径や出⼒を制御できるオールインワンデバイス。コンパクトな1 筐体内にレーザパワー減衰器とビームエクスパンダーが⾼度に集積されており、レーザ出⼒パラメータを制御可能。     特⻑ ●入力ビーム径：９ｍｍ ●出力ビーム径：22mm, 38mm ●対応波長：343/355/515/532/1030/1064nm ●⾼いポインティング安定性 ●産業用高精度マイクロマシニング、研究開発に最適     ◆MEXはガリレオ式レーザビームエクスパンダー、コリメーター、ビーム減衰器を連結したもので、独⾃の機械的スライド式レンズ設計、⾼いポインティング安定性を持ち、最⼩限の⼤きさで⾼出⼒レーザまで対応。 ヒューズドシリカ（fused silica）にLIDT コーティングした素材で作られており、安定した信頼性の⾼い値が得られる。紫外〜近⾚外域まで対応できる。     特⻑ ●最大入力パワー：200W@1030nm, 500ps, 1MHz (MEX-HP) ●⾼いポインティング安定性<0.1% ●ビーム拡がり⾓の調整が可能 ●堅牢で産業⽤、OEM・カスタム対応      ◆VEXはレーザビーム径を手動で増減することが出来る可変式ビームエクスパンダーで、独⾃の機械的スライド式レンズ設計、⾼いポインティング安定性を持ち、最⼩限の⼤きさで回折限界の高パフォーマンスが得られる。FEXは増減の割合が固定のタイプ。     特長 ●波⻑域：343〜355nm, 515～532nn, 1030～1064nm, 他 ●⾼いポインティング安定性 ●VEXは入射ビーム径11mmを出射ビーム径最大40mmに可変     ◆LPAはレーザパワーアッテネータ(減衰器)で電動式と手動式があり、産業用にも使用できる堅牢なデザイン。LPA-Aは高性能・高精度タイプ。     特長 ●⼤⼝径のデザイン ●波⻑域：257/266/343/355/515/532/1030/1064nm ●⾼いポインティング安定性

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