薄膜密着力の数値化が出来る 密着強度測定機ロミュラス  ROMULUS

 

 

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  Romulus-USB

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

stud-

ROMULUSは、米国Quad Group社によって独自に開発された薄膜の密着強度を正確に測定することができる装置。(以前のSebastian Vの後継機種)  ROMULUSの基本はワークステーション方式で、プラットフォームと各種のテストに応じたモジュールを選別する事でニーズに合った計測を行うことが出来る。

USB接続のノートパソコン(制御・計測用ソフトウェア搭載)型にリニューアルし、より使い易く便利になった。

 

密着強度測定用 ROMULUS:ユニバーサルメカニカル強度テスター

●Pull Down Bleaking Point プラットフォーム使用:下方へ機械的に荷重を掛けていくモジュールと試料を支えるモジュールから構成

●stud pull test 用モジュールで薄膜密着強度測定を簡単に行なう事が出来る 

コーティング膜の基板に対する密着強度のスタッドプルテスト(Stud Pull Coating Adherence)

●最大引張り荷重 = 100 Kg (オプション 200kgまで対応可能)

●試料の材料・材質に応じて各種のスタッドピン、補助用のバッキングプレートが選べる(消耗品参照)

概要 

独自のスタッドピンをエポキシ接着剤で試料の表面に装着して、PC制御で荷重を掛けて引っ張り下し、剥離が生じた時点での密着力を定量的に計測し、数値化することができる。

 

特長
●薄膜の密着性の定量測定・数値化が可能。

●PC制御により引っ張りおろし、剥離した時点を計測するテスト

●各種のコーティング膜:カラーフィルター、レジスト膜、Low-k膜、酸化膜、メッキ膜、薄膜太陽電池膜、DLC膜などの密着性測定

●張り合わせた複合基板の密着力テスト

●接着剤等、粘着、溶着の強度テスト

 

■自動化されたフォースアプリケーションにより、モジュールの交換で6種類のテスターとして使用可能。

1.材料の応力/ひずみ
2.硬質材料の曲げ強度
3.コ-ティング引き倒し強度
4.固定されたダイ等のせん断強度
5.フレキシブル基板の剥離強度
6.硬質基板の剥離強度

 

◆Winzea2.0ソフトウェア                              

PC(Windows 10対応)に導入して簡単に操作でき、ロミュラスシステムの基本であるpull downプラットフォーム使用の密着強度測定(引っ張り試験)を始めとして、種々のアプリケーション計測にも対応出来る。各テスト用プラットフォームやモジュールを使用する場合は、それらをロミュラス本体に正しく設置した後、メインメニュー画面からその機器を選択するだけで、各テスターの操作が可能。

 

Romulus 薄膜密着強度測定機についての詳しい説明は是非こちらをご覧ください。

 

 

★装置のご購入をご検討頂ける場合は、サンプルテストにてお試し頂けます。

サンプルをお預かりして測定し、データを添えて返却いたします。

 

 

【下取りのご案内】
最新モデル以前の旧モデル(セバスチャン、ロミュラス)を所有して頂いている方で、

最新モデルの導入をして頂ける場合、旧モデルを下取りさせて頂きます。
詳しくは、弊社担当までお問い合わせ下さい。

 

 

 

ロミュラス/セバスチャン用消耗品仕様一覧 

「米国Quad Group社製消耗品」価格改定のお知らせ」

 

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光学干渉式膜厚モニター   AvaThinfilm

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29-thinfilmsetup

 

AvaThinfilm_2015-

 

 

AvaThinfilm

AvaThinfilmは、光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で、非接触でリアルタイムの測定が可能。(ファイバー入射型分光器利用の膜厚測定)分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと、試料の物性値から膜の厚みを計測。非常に低価格なので気軽に使用できる。

本体はファイバー入射型分光器なので、他の光計測に利用できる。

 

特長

●非接触でリアルタイムに計測
●10nm~50μm の膜の厚みを計測
●測定分解能:1nm
●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等
●分光器としての用途に使用できる

●専用のソフト(AvaSoft-ThinFilm)に一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。

 

★最新のシステム構成:

◆分光器:AvaSpec-ULS2048CL-EVO 

( Grating UA (200~1100nm), 100μm slit, DCL-UV/VIS-200, OSC-UA )

◆専用ソフト:AvaSoft-Thinfilm

◆光源:AvaLight-DHc (PS-12V/1.0A付)

◆ファイバー:FCR-7UVIR200-2-ME 反射プローブ

◆ステージ:ThinFilm stage

 

膜厚測定のやり方 No.1 (Avantes 社提供 video)

 

膜厚測定のやり方 No.2 (Avantes社提供 video) 

 

 

半導体関連の応用計測 (Avantes社提供 Video)

 

★評価機をご用意しておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

分光器:AvaSpec 詳細ページへ

 

光源:AvaLight-DHc 詳細ページへ

 

 

 

 

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CO2 ジェット表面洗浄器    CO2 Snow Jet Cleaner

btn_catalog_jpAST_rogo-btn_catalog_en

 

8-co2clean01

標準ユニット(K1-10)

on/off Gun, 3m ホース,

CO2メーター(0-2000psi),

0.5μmフィルター,シリンダー,

非対称ベンチュリノズルと

低圧力ノズル付き

 

 

K4-10_高純度

高純度ユニット(K4-10)

ダイヤフラムバルブ, 3m

ホース,0.01μmフィルター,

非対称ベンチュリノズルと

低圧力ノズル付き

 

ソレノイドコントロールオプション_K4-10S

ソレノイド制御オプション

(K4-10S),フットスイッチ

オプションも有り

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Slot Nozzle

2インチ大口径ノズル

(Slot Nozzle)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

K1-10-ART

K1-10-Art

 

CO2 Snow Jet Cleanerは、サンプル作成時に最適なジェットクリーナー。

CO2ガスのジェット噴射技術により物質表面のゴミ粒子、指紋などの油成分、高分子化合物等をミクロン以下の単位まで除去する。ジェット噴射機器により、CO2がドライアイス状の粒子となり物質(対象物)の敏感な表面に対し非接触で洗浄する為、対象物を傷つけることもなく破壊せず残留物化学的汚染も生じない

 

用途
■XPS、AES、AFM分析試料表面洗浄
■金属、ガラス、セラミックス、ポリマー、Siウェハーなどの汚れの除去
■レンズ、フィルター、ミラー、グレーティング等 光学部品の汚れの除去

■美術品の汚れ、真空チャンバー内の汚れ等の除去

 

◆Siウエハーはマイクロチップがあらゆる物に使用されている現代において最も重要な用途の1つと言える。標準ユニット又は高純度ユニットで対応可能。

 

Si基板上の指紋洗浄例 (顕微鏡画像)

8-co2clean02 CO2-2
使用前 使用後
  

 

Cleaning a Si Wafer Demo(シリコンウエハーを洗浄するデモ)

 

近年の新しいアプリケーションとして望遠鏡のミラー洗浄や美術品の洗浄のニーズが増えており、より便利に、より効果的に使用できるように専用のノズルを考案して対応している。

 

◆Telescope Cleanning

標準ユニットの通常ノズルより大きな範囲を洗浄できるような 大きなノズル(Slot Nozzle)を使用した専用モデルが開発されている。

 

 Large Area Snow Unit Model K1-10LASU-C  Large Area Snow Unit Model K1-10LASU-A

Large Area Snow Unit (K1-10LASU-C) ( K1-10LASU-A)

Cleaning video with One Inch Expansion Tube          

 

Cleaning with Two Inch Slot Nozzle

 

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◆美術品の洗浄 細かい物や繊細な対象物に適したノズルを開発して対応している。

美術品の汚れ(埃、ワックス、グリース、くもり等)も直接触れて洗浄できない物が多く、非接触で残留物も残さない 'CO2 Snow Jet Cleaning' の効果は大きい。

美術品に付いた指紋の洗浄例

Fingerprint Removal before cleaning
洗浄前
Fingerprint Removal after cleaning
洗浄後

 

★評価機(標準型)をご用意しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

是非一度お試しください。

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分光器の応用計測システム  吸収計測  Absorbance measurements

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★Avantes 総合カタログ(英文)はこちらからbtn_catalog_enbtn_catalog_jp

UV-VIS absorbance

 

 

Absob----構成

 

 

AvaSoft-CHEM

 

 

 

 

 

 

 

 

UV/VIS/NIR 吸収・透過測定 はAvaSpec、光源、ディッププローブ等の構成で行える。

 

■分光器:AvaSpec-ULS2048CL-EVO 又はAvaSpec-Mini-NIR

高S/Nのパフォーマンスを希望する場合はAvaSpec-ULS2048XL-EVO

さらに高感度・高波長分解能の計測には AvaSpec-HERO が最適

■光源:AvaLight-DH-S(-BAL)

■ソフトウェア:AvaSoft-Full & AvaSoft-CHEM

■ファイバー:FDP-7UVIR200-2-VAR (ディッププローブ) 又は FC-UVIR200-2-SR (2本) 

 

Absorbance bundle (吸収測定用のセットアップ)は通常の吸収測定に対応可能

 

分光器 AvaSpec-ULS2048CL-EVO Grating UA (200-1100 nm); 25 µm slit; DCL-UV/VIS-200; OSC-UA
光源 AvaLight-DH-S-BAL  
光ファイバー FDP-7UVIR200-VAR
ソフトウェア AvaSoft-Full

用途

●流体の色付け   ●インライン測定    ●試験管やフラスコ内の液体の色の測定

 

 

 

◆AvaSpec-Mini-NIRを使用した吸収計測のやり方

 

 

 

◆AvaSpec-HERO 高感度・高波長分解能分光器を使用した吸収計測

 

*AvaSpec-HEROの詳細は こちらから

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レーザ結晶    ( Ti:Sapphire, Nd:YAG, yb:KGW/KYW, Co:spind ) 

logo_Altechna

 

 

 

 

 

 

Ti-saffaier_Crystals_category

Ti:Sapphire結晶

Nd-YAG_Crystals

Nd:YAG 結晶

 

Yb-KGW-&-Yb-KYW_Crystals

yb:KGW/KYW 結晶

 

Co-Spinel_Crystals

Co:spind 結晶

Altechna社は1996年に創設され、レーザ関連のコンポーネンツである、ミラー・結晶等の取扱いを開始し、科学ベンチャー企業として新技術・発明をオープンにして光技術の世界的トレンドを形成していき、ビジネスネットワークを構築していくことを目指して発展。

2004年には最初のレーザーマイクロファブリケーションシステムを取り扱い、2010年には計測ラボを作り品質向上をめざし、2013年ついにレーザ関連のコンポーネンツの自社製造を開始し、すべての製造工程で細部に渡り最高の品質を求めている。

 

■レーザ結晶 ( , Nd:YAG, Nd:KGW, Yb:KYW )

 

◆Ti:Sapphire結晶
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ウルトラショートパルス生成に最適で、フェムト秒可変レーザに使用

 

 

◆Nd:YAG 結晶
btn_catalog_en

   標準的なレーザ光源に一番使用されている

 

 

◆yb:KGW, yb:KYW 結晶
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100fs以下のウルトラショート高出力パルスの生成に最適で、フェムト秒アンプや高出力薄膜ディスクレーザに使用。また高スロープ効率でダイオードの励起が可能。

特長

●981nmにてコヒーレント光の高吸収率

高い誘導放出断面積

●低い発振闘値

●極めて低い量子欠損(1%以下)

●広いアウトプット帯域(1020~1060nm)

●高いスロープ効率でダイオード励起が可能

●高いyb添加濃度

 

◆Co:spind 結晶
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比較的新しい結晶で、Erガラスレーザ(1.54μm)に使用

 

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分光器の応用計測システム 発光計測 Irradiance measurement

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Irradiance

 

 

Irradiance----構成

 

 

 

AvaSoft-Irrad

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 OES:発光分光分析

 

  AvaSpec-multi-CH 

発光測定は街灯などの自由空間での計測から、パルス化された太陽光発電のシュミレーター計測にいたる各種の放射量を測定するもので、分光器・光源・発光用専用ソフトウェア、そして積分球などのアクセサリーを使用して計測出来る。Avantes社の発光専用ソフトウェアは放射量・光量・量子量・カラー等を計測でき、放射照度較正用の光源と共に較正機能を装備している。

 

■分光器:AvaSpec-ULS2048CL-EVO (UV/VIS),

               AvaSpec-NIR256-2.5HSC-EVO (NIR)

■光源:AvaLight-DH-CAL (UV) AvaLight-HAL-CAL (VIS/NIR)

          較正:IRRAD-CAL-UV,  IRRAD-CAL-VIS, IRRAD-CAL-NIR

■ソフトウェア:Avasoft-fULL & AvaSoft-IRRAD   

■アクセサリー:AvaSphere-IRRAD(積分球) 又は CC-VIS/NIR(コサインコレクター)

■ファイバー:FC-UVIR-200-2

 

Irradiance Bundle ( 発光計測 セットアップ)はソーラーパネルの発光状況を調べたり、一般的な光の計測用に対応。

 

分光器 AvaSpec-ULS2048CL-EVO

Grating UA (200-1100 nm), 25 µm, FC/PC slit,

DCL-UV/VIS-200, OSC-UA, 

較正用光源 Irrad-CAL-UV/VIS  
光ファイバー    FC-UVIR200-2-ME-FC/SMA  
アクセサリー CC-VIS/NIR
ソフトウエア AvaSoft-Full & AvaSoft-Irrad,

 

 

◆発光測定のやり方

 

 

◆付加製造(additive manufacturing)用、発光分光分析:OES(Optical Emission Spectroscopy)

3Ⅾプリンターのモニター等でプロセスコントロールに利用する事が可能。

 ■AvaSpec-ULS4096CL-EVO 200~400nm, grating3600 にて計測がお勧めで、4~10chのAvaSpec-multi-Channel構築により、高速多チャンネルプロセスコントロールが可能。

 

 

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分光器の応用計測システム LED計測 LED measurement

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  LED Measurement

 

 

 

LED構成 

LED計測は、AvaSpecAvaSphere-50-IRRAD積分球とAvaSphere-LED-adapter

(LED用のアダプター)を使用して計測できる。

 

AvaSpec-ULS2048CL-EVO   (25μm FC/PC slit, 300 line/mm grating(350-1000nm)

AvaSphere-50-IRRAD  (CC-UV/VIS/NIR)

AvaSoft-Full & AvaSoft-IRRAD, FC-UV200-2-FC-SMA 

 

★LED Measurement Bundle  (LED 計測セットアップ)

分光器 AvaSpec-ULS2048CL-EVO Grating VA (350-1000 nm), 25 µm FC/PC slit, DCL-UV/VIS-200, OSC,
較正用光源 IRRAD-CAL-VIS  
光ファイバー    FC-UVIR600-2-ME-FC/SMA  
アクセサリー

AvaSphere-50-IRRAD

AvaSphere LED adapter

 
ソフトウェア AvaSoft-Full & AvaSoft-Irrad  
 

 

 

 

 

Spectroscopy Solution in Photonics by Avantes    

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レーザパワーコントローラ        LPC(Laser Power Controller)

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LPC :

Laser Power Controller

LPCレーザパワーコントローラは、正確に手軽にレーザパワーを安定化する。

可視~近赤外域のあらゆるCWまたはモードロックレーザビームを0.025%まで安定化させ、出射後のレーザパワーを安定させたまま可変することが可能。

50kHz以上のパルスレーザにも使用できる。

また減衰や出力コントロールも可能。

レーザビームを変調することによりレーザ出力を自動制御し、安定化している。

LPCの正確で高精度なレーザビーム制御は様々な分野の応用に利用できる。

インターフェースをUSB標準装備に変更しリニューアルしたLPCは、小型化したコントローラの前面スイッチのほか、USB接続のPCより簡単に操作・制御できるようになった。

 

特長
●スタビライザー、パワーメータ、ビーム減衰器の機能を統合
●CW、Qスイッチ、モードロックレーザのノイズ削減と出力安定化
●波長425~1700nm(広い波長帯域)

LPC-VIS2 (425~780nm, >4W)

LPC-NIR2 (700~1100nm, >4W)

LPC-IR2 (950~1700nm, >1W)

LPC-VTN2 (450~900nm, >4W)
●入力パワーは<0.5mW~>4Wまで可能 (他カスタム対応可)
●レーザビーム出力を40:1 の精度で調整・制御
●レーザビーム出力を0.025% まで安定化
●透過率 :85% ( 平均 )
●レーザのノイズをDC~5kHz まで削減
●USB 標準装備、アナログ入力も可能
●すべてPC制御とシーケンスのプログラム化
●高出力レーザ用のカスタム対応可能

 

オプション

●LPC-GPIB: GPIB インターフェース

●RD-40(Remote detector):VIS/NIR, IR,UV(2倍波、3倍波用)

●LPC-VIO(Voltage input): 外付けディテクタやプリアンプからのフィードバック

電圧信号を供給

●LPC-IP(Input Polarizer): 入力ポラライザ(ランダム偏光のレーザ用)

●LPC-EXT-CBL: 延長ケーブルセット<6m

●パルスレーザ用エレクトロニクス<4kHz

 

 

 

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マイクロラマン識別& 計測システム  MRI (Micro Raman Identify ) 

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  MRI

 

   MRI 横向きそのまま使用

  MountQic
   Laser Module

  主要レーザ
473/488/532/785nm

 

 RAMSpec

 

 SERS

 

 

  Graphene mapping

     Graphene Quality

 MRID

 

 GMD

 

 

 GMDX

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

MRI は顕微鏡に取付けてSERS ・TERS などのラマン顕微分光が1 台で簡単に行えるように開発されたシステム。個体・液体・粉・薄膜・ペースト・ジェル等どんな種類のどんなサンプルでも計測出来る。
1 つの筐体に光学系も集積したコア技術による一体型デザインにより、高感度・高パフォーマンスの計測が手軽に実現。
組立てや持ち運びも簡単で、ラボ内でもフィールドでもフレキシブルにラマンスペクトルを計測・記録できる。顕微鏡に装着して、或いはそのままサンプルにあてて計測出来る。

 

特長

●1 筐体に集約したAll in One 型

●フレキシブルで可動性が高い

●ラマンレンジ:79cm-1 ~ 3500cm-1

●S/N:300 : 1

●ピクセル精度:標準;2.0cm-1高精度:1.3cm-1

●簡単組込みレーザキット MountQic Laser Module
ラマン計測用の可視~近赤外域の組込みレーザキットで、MRIに簡単に装着でき、532nm で特に高い反強磁性転移90cm-1が得られる。MIR はレーザ出力が自動的に眼に安全なサンプルモードになっている。出力調整も簡単。

●MRI 用ソフトウェアRAMSpec とデジタルイメージング

9Mpixel イメージカメラと3W LED 光源により、高パフォーマンスのデジタルイメージングが可能。RAMSpec ソフトにより、サンプルサイズ、ラマンシフト、散乱強度等を計測可能。15 秒で起動し、スマートホットキーをクリックするだけで高度なスキャン が可能。

●サンプルをラマン計測・分光した結果を1 枚のレポートとして出力。

●MRI をサンプルに直接あてて計測可能

●130x195x195mm

 

*MRI 内には、Avantes 社製高感度分光器(OEM 型) が搭載されており、高感度・高波長分解能な分光が可能になっている。

 

 

 MRIビデオ

 

MRID は2つのレーザを内蔵したマイクロラマン識別システムで、ワンクリックでレーザ波長を切り替えることが可能。レーザの光路キャリブレーションを必要とせず、安定した高品質のレーザ出力で分光が行える。

 

特長

●一体型の安定したデザインで光学系が安定

●高感度:470,000/μW per ms

●偏光機能:偏光モジュールにより簡単にレーザの入射角を選ぶことができ、サンプルのラマンスペクトルの違いを検出可能(オプション)

●1064nm(1つだけ)のレーザ使用も可能

●300x300x80mm, 5kg

 

                                                            

GMDはコンパクトサイズのラマン識別器で固体・液体・粉末・ペースト・ジェル・ダイヤモンドや宝石などを簡単に識別・測定可能できる。

2つの励起波長(532nm, 785nm)のレーザと焦点光学系、高性能CCD型検出器等から構成されているラマン測定用の小型分光計。携帯出来るコンパクトサイズで、RAMSpec ソフトウェアを入れたPCで簡単にスペクトル解析できる。サンプル用の各種ホルダーが選べる。

 

GMDXGMDのアップグレード型でXYZ3軸ステージ、観察カメラ、白色LED、レーザ温度安定化装置、レーザ安全カバーを装備した小型オールインワンシステム。RAMSpecソフトウェアはリアルタイムのスペクトル測定、画像表示、スペクトル解析機能等が簡単に表示でき、複数のスペクトル比較機能も有る。

 

特長

●レーザ波長:532nm, 785nm
●レーザ出力:100mW (TEM00 mode)

●レーザスポットサイズ: ~2mm (焦点距離)

●ラマンシフト/分解能:186~3600cm-1/1.8cm-1, 186~5400cm-1/4.3cm-1 (532nm)

                       186~2800cm-1/1.8cm-1(785nm)

●ダイナミックレンジ: 5000 : 1

●出力フォーマット:CSV, SPC,TXT, EXCEL,BMP,JPG, PNG

●サイズ: 160 x 140 x 85mm (GMD),   200 x 300 x 300mm (GMDX)

 

GMDを使用した計測例

◆偽りのダイヤモンドの識別

       

①set up      ②専用トレイを載せる ③偽ダイヤモンドを載せる ④レーザをON

 

◆硫黄(sulfur)の検出

     

①硫黄をプレートにset up  ②プレートを載せる  ③レーザをON

 

◆粉末の識別

     

①粉末をボトルに入れる②ボトルをセットする ③レーザをON           ④スペクトルを表示

 

マイクロラマン・ラマンの応用計測は、化学物質・材料や材質・バイオや食物・美術品・鉱物・衛生品や薬品などの識別や特定等幅広く利用されており、リアルタイムの変化をモニターする事にも利用できる。(各応用の解析例)

 

■化学物質           ■材料や材質     ■バイオや食物 

 

■美術品      ■鉱物        ■衛生品や薬品  

 

■その他  

 

 

 

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レーザ保護メガネ(山本光学製)  

 

レーザ光は眼に見えるものも見えないものも、熱作用と集光作用により、網膜や角膜に損傷を引き起こす危険性があり、使用する際に眼の安全性を確保することが大切です。レーザの種類・発振波長・出力を確認の上、フィルター特性をお選び下さい。

 

レーザ種類とフィルタ対応表
光学濃度

レーザ光の危険性

 

フィルタ特性

レーザ光完全吸収タイプ【D】 btn_pdf
多波長兼用タイプ【C】 btn_pdf
1/100 減衰 及び 1/10000 減衰 「整備用」一部透過タイプ【M】【A】 btn_pdf
強化ガラスタイプ 及び ハイパワー光対応タイプ【G】【H】 btn_pdf
レーザ保護メガネのモデル別分光グラフ btn_pdf

 

レーザ保護メガネの各モデル  

  • OVERGLASSYL-780LT/HT
    山本光学製btn_pdf限りなく「スキマ」を無くす2種類のノーズブリッジ搭載の最新型登場!上からの光の侵入を防ぐ「クッションバー」や顔幅を選ばない「フレックスフレーム」思いのままにフィットする「フリーテンプル」「くもり止め」等優れた機能を搭載した最新型。
  • GOGGLEYL-130
    山本光学製 20-goggleyl130btn_pdf顔面との密度が高く、眼鏡の上から併用可能。ビームや散乱光の角90が特定できない場合に適する。ヘッドベルト交換可能。

     

     

  • OVERGLASSYL-717
    山本光学製btn_pdf
    度付めがね装着者併用可能。(大型眼鏡対応) 新開発ストレートテンプル採用。フレーム枠の角度調整可能。
                 
  • OVERGLASSYL-780G IR
    山本光学製

    btn_pdf  強化ガラスタイプでレンズの可視透明率が高いファイバーやYAGレーザ対応
    •  
  • GOGGLE YL-120H YAG
    山本光学製 20-goggleyl120btn_pdf

    合わせガラスタイプでハイパワーレーザ光に対応した損傷しきい値(*1)が高い。
    *1 : 損傷しきい値/万一レーザ光が照射された場合、どの程度のパワーによって損傷を受けるかという値 。

     



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